Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Применительно к технологии изготовления катодов- мишеней для установок ионно-плазменного нанесения покрытий и на основании ранее выполненных исследований разработаны основные практические принципы, включающие: металлургические, литейные, деформационные и термические процессы.
item.page.description-other
关于离子等离子体涂层装置的阴极技术，在以往研究的基础上， 已经制定了基本的实用原则，包括：冶金、铸造、变形和热过程。
Description
Citation
Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Минск – Шанхай – Чанчунь: стратегия прорывного сотрудничества : сборник материалов научно-практической конференции (Минск, 21 апреля 2022 г.) / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 135-138.