Широкодиапазонные MEMS датчики теплового потока
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
P wide range heat flow MEMS sensors
Abstract
Предложены новые решения позволяющие увеличить чувствительность и оптимизировать спектральный диапазон термоэлектрических многоэлементных МЭМС датчиков оптического излучения.
item.page.description-other
New solutions are proposed that allow increasing the sensitivity and optimizing the spectral range of thermoelectric multielement MEMS sensors of optical radiation.Abstract up to 100 words.
Description
Citation
Таратын, И. А. Широкодиапазонные MEMS датчики теплового потока = P wide range heat flow MEMS sensors / И. А. Таратын, Ю. М. Кернасовский, С. А. Филатов // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 133-134.