Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии

Simple item page
dc.contributor.advisorГолосов, Д. А.ru
dc.contributor.authorДоан, Тхе Хоангru
dc.contributor.authorНгуен, Ван Ту Аньru
dc.contributor.authorЧан, Динь Ньат Ханьru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2023-07-26T12:09:19Z
dc.date.available2023-07-26T12:09:19Z
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationДоан, Тхе Хоанг. Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии / Тхе Хоанг Доан, Ван Ту Ань Нгуен, Динь Ньат Хань Чан ; науч. рук. Д. А. Голосов // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2023 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра «Интеллектуальные и мехатронные системы» ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Дубовик ; сост. Е. А. Богданова. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 20-24.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/132264
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleИсследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопииru
dc.typeArticleru

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
20-24.pdf
Size:
350.93 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download

Collections

Материалы сборника по статьям