Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования
Loading...
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Карпович, С. Е. Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования / С. Е. Карпович, В. В. Кузнецов, А. Ю. Войтов // Теоретическая и прикладная механика [Электронный ресурс] : международный научно-технический сборник / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. В. Чигарев (пред. редкол.). – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 34. – С. 17-22.