Материалы конференции по статьям https://rep.bntu.by/handle/data/164326 2026-04-22T08:14:06Z Методика оценки однородности параметров поверхности полупроводниковой структуры https://rep.bntu.by/handle/data/164860 Методика оценки однородности параметров поверхности полупроводниковой структуры Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Мухуров, Н. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Дубаневич, А. В. 2011-01-01T00:00:00Z Задачи контроля критических размеров в технологических процессах микроэлектронного производства https://rep.bntu.by/handle/data/164849 Задачи контроля критических размеров в технологических процессах микроэлектронного производства Трапашко, Г. А. 2011-01-01T00:00:00Z Установка для исследования триботехнических характеристик материалов в агрессивных средах https://rep.bntu.by/handle/data/164855 Установка для исследования триботехнических характеристик материалов в агрессивных средах Шапарь, В. А.; Кукареко, В. А.; Шапарь, А. В. 2011-01-01T00:00:00Z Построение системы совмещения степпера с учетом влияния хроматических аббераций https://rep.bntu.by/handle/data/164850 Построение системы совмещения степпера с учетом влияния хроматических аббераций Агейченко, А. С. 2011-01-01T00:00:00Z