https://rep.bntu.by/handle/data/146856 2026-04-21T08:56:40Z https://rep.bntu.by/handle/data/146863 Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки Пилипенко, В. А.; Сергейчик, А. А.; Шестовский, Д. В.; Солодуха, В. А. На сегодня важной задачей при создании современных изделий микроэлектроники является устранение на поверхности пластин механически нарушенного слоя. Быстрая термообработка оптическими импульсами секундной длительности является одним из методов устранения нарушений кристаллической решётки, возникающих после ионного легирования. Однако, остался открытым вопрос восстановления кристаллической структуры поверхностного механически нарушенного слоя на планарной стороне пластины. Проведение данных исследований методами просвечивающей электронной микроскопии, анализа кривых дифракционного отражения и электронной Ожеспектроскопии не позволило получить достоверную информацию о состоянии кристаллической решётки в поверхностном слое толщиной менее 30 нм, который является ответственным за структурное совершенство подзатворных диэлектриков толщиной менее 75 нм. Это, в свою очередь, не позволяло предложить модель твердофазной рекристаллизации и дать её математическое описание. Целями работы являлись: – установление методом дифракции обратно отражённых электронов от поверхности исходных кремниевых пластин состояния кристаллической решётки кремния в поверхностном слое толщиной менее 30 нм до и после быстрой термообработки; – проведение анализа элементного состава загрязнения поверхности исходного кремния до и после быстрой термообработки; – разработка модели твердофазной рекристаллизации поверхностного нарушенного слоя после быстрой термической обработки и её математическое описание. Приведены картины дифракции обратно отражённых электронов от поверхностного слоя исходных кремниевых пластин толщиной менее 30 нм до и после быстрой термообработки, а также результаты очистки планарной поверхности исходных кремниевых пластин от загрязняющих примесей. Предложены процессы, уменьшающие энергию активации процесса рекристаллизации механически нарушенного поверхностного слоя кремния и дано его математическое описание. Определены параметры быстрой термообработки, обеспечивающие минимизацию воздействия температуры на кремниевую пластину для рекристаллизации механически нарушенного слоя на её планарной поверхности. 2024-01-01T00:00:00Z https://rep.bntu.by/handle/data/146862 Оценка шероховатости поверхности неметаллических материалов при лазерной обработке Алексеев, В. А.; Усольцева, А. В.; Усольцев, В. П.; Юран, С. И. Проведены экспериментальные исследования поверхности неметаллических материалов с определением параметров шероховатости таких материалов, как кожа, кость, дерево, пластмасса после обработки поверхности материалов лазерным лучом. Для оценки качества поверхностного слоя материалов использованы глубина проникновения лазерного излучения в материал, среднее значение микронеровностей, среднее квадратическое отклонение микронеровностей. Для описания изменений величин микронеровностей использованы графики корреляции параметров микронеровностей и модуля упругости поверхности различных неметаллических материалов. Для описания зависимостей корреляции с представлением в компьютере используются аппроксимирую- щие полиномы. Предложена регрессионная модель, связывающая свойства материала с величиной микронеровностей. Приведены данные по глубине абляции для древесины, кости, кожи, оргстекла, графики корреляции между величиной микронеровности поверхности и плотностью материалов, между величиной микронеровности поверхности и модулем упругости материалов, коэффициент корреляции между величиной микронеровности поверхности и температурой воспламенения органических материалов. Полученные модели позволяют реализовать предложенный принцип лазерной обработки неметаллических материалов, заключающийся в измерении модуля упругости поверхности материала и на основании полученных измерений управлять режимами лазерной обработки изделий. Предложена установка лазерной обработки поверхности неметаллических материалов с реализацией принципа управления режимами обработки в зависимости от измеренных значений величины модуля упругости поверхности материала. Для измерения модуля упругости материала используется специальный датчик с вдавливанием индентора и компьютерной оценкой полученных измерений с формированием решений по управлению режимами лазерной обработки поверхности материала. Полученные экспериментальные результаты позволили изготовить ряд изделий с обеспечением заданного качества поверхности неметаллических материалов (письменный прибор, изделие-подарок молодоженам). Проведение экспериментов с изменением мощности лазерного излучения по результатам измерения модуля упругости поверхности неметаллических материалов показало эффективность оперативного задания режимов работы лазера с обеспечением качества поверхности неметаллических материалов. 2024-01-01T00:00:00Z https://rep.bntu.by/handle/data/146861 Investigation of Criteria for Comparing of Natural and LED Radiation Spectral Distribution Bogdan, P. S.; Zaytseva, E. G.; Stepanenko, A. I. The difference in the spectral composition of artificial and natural lighting can negatively affect health, as well as lead to a distorted perception of the color of surrounding objects. At the same time, a certain correction of the spectral composition of visible radiation in medical institutions and workplaces has a positive effect on human health, while can be carried lighting control out taking into account the data of personal sensor devices that determine the human condition. The purpose of the research was to select criteria for comparing natural and LED optical and visible radiation by spectral composition and by the visibility of color differences in natural and LED lighting. The effectiveness of the application of known and developed criteria for assessing the difference in the spectral composition of optical and visible radiation from natural and LED sources was investigated, as well as for the visibility of color differences in natural and LED lighting. To minimize the values of criteria are proposed additive and subtractive methods for calculating LED parameters. Their comparison allowed us to conclude that a more complex calculation algorithm, but higher performance for an additive technique than for a subtractive one with the same minimization results. It was found that to simulate the spectral composition of natural radiation using LEDs, it is most effective to use the criteria "standard deviations of the relative differences between the optical and visible spectral components of natural and LED radiation". A comparison of the criteria for the visibility of color differences in natural and LED lighting showed approximately the same effectiveness of using the criteria "small color differences" and "standard deviation by photoreceptors" at the present stage and the prospects for applying the second criterion, provided that its acceptable values are established. 2024-01-01T00:00:00Z https://rep.bntu.by/handle/data/146860 A Morphological Approach to Development of a Process for Measurement Uncertainty Estimation Serenkov, P. S.; Romanchak, V. M.; Hrybkouski, A. V. The problem of increasing the reliability of uncertainty estimation of measurement results is considered. The purpose of this work was to justify the application of the process approach to the formation of the algorithm of uncertainty estimation on the basis of morphological analysis. It is theoretically substantiated that from the standpoint of the system approach to achieving an acceptable degree of reliability of measurement uncertainty estimates it is necessary to implement a process approach to the formation of the estimation method as an algorithm of actions. The main stages of the estimation process are defined. It is established that each stage of the estimation process can be realized by alternative methods. The morphological box method as a realization of morphological analysis is proposed as a basis for its solution. A morphological box design of the uncertainty estimation process with an open architecture is presented, based only on commonly accepted methods and approaches for realizing each step of the process. Two aspects of the application of the morphological box method are identified. On the one hand, the morphological box allows to form an algorithm of the uncertainty assessment process, maximally acceptable for the laboratory conditions, as a combination of process steps, based on the task at hand, combining different variants of realization of these steps. On the other hand, the morphological box acts as a tool for development of new methods of realization of various stages of the uncertainty assessment process. Examples of using the morphological box method to develop alternative algorithms of the uncertainty estimation process of the same measurement method and to develop new methods of realization of different stages of the estimation process are considered. 2024-01-01T00:00:00Z