https://rep.bntu.by/handle/data/124389 2026-06-23T12:30:42Z 2026-06-23T12:30:42Z Реутская, О. Г. Денисюк, С. В. Куданович, О. Н. Лугин, В. Г. https://rep.bntu.by/handle/data/124659 2022-12-28T16:02:39Z 2022-01-01T00:00:00Z

Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках Реутская, О. Г.; Денисюк, С. В.; Куданович, О. Н.; Лугин, В. Г. Формирование газочувствительных слоев на алюмооксидных подложках обеспечивает воспроизводимость и стабильность характеристик, а также низкое энергопотребление сенсоров. Методики выбора режимов отжига и способа нанесения тонких пленок влияют на адгезионные свойства элементов конструкции. Получение развитых сплошных полупроводниковых слоев достигается многослойным нанесением оксидов металлов с применением капельных технологических приемов. Диапазон термообработки поверхности чувствительных элементов составляет от 100 °С до 800 °С.

2022-01-01T00:00:00Z Лапицкая, В. А. Кузнецова, Т. А. Хабарова, А. В. Чижик, С. А. Вархолински, Б. Гилевич, А. https://rep.bntu.by/handle/data/124657 2022-12-28T16:02:40Z 2022-01-01T00:00:00Z

Влияние концентрации бора в покрытии Al-Cr-B-N на морфологию и шероховатость поверхности Лапицкая, В. А.; Кузнецова, Т. А.; Хабарова, А. В.; Чижик, С. А.; Вархолински, Б.; Гилевич, А. С помощью атомно-силовой микроскопии проведены исследования влияния содержания бора в покрытии Al-Cr-B-N на морфологию, шероховатость и силу адгезии поверхности. На поверхности покрытия без бора присутствует большое количество частиц и конгламератов. Добавление в покрытие бора (10 и 20 %) приводит к увеличению размеров ячеек на поверхности покрытия, снижению количества частиц, росту шероховатости и силы адгезии.

2022-01-01T00:00:00Z Ковальчук, Н. С. Демидович, С. А. Комаров, Ф. Ф. Власукова, Л. А. Пархоменко, И. Н. https://rep.bntu.by/handle/data/124661 2022-12-28T16:02:40Z 2022-01-01T00:00:00Z

Пленки SinX с низкими механическими напряжениями для микросистемных применений, синтезированные в ICP-реакторе Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Комаров, Ф. Ф.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. Пленки SiNx с механическими напряжениями в диапазоне от –10 до –625 МПа синтезированы в реакторе индуктивно-связанной плазмы (ICP) из смеси «SiH4 – N2 – Ar». Обогащение нитридных пленок азотом приводит к снижению механических напряжений до –10 МПа. При подъеме мощности ICP-источника механические напряжения возрастают вплоть до –625 МПа при 800 Вт. Варьирование температуры осаждения от 25 до 350 ºС существенно не влияет на уровень напряжений и показатель преломления, а также на скорость роста SiNx. Оценен дрейф остаточных напряжений в течение трех недель после осаждения, а также содержание кислорода в пленках SiNx в зависимости от режима осаждения.

2022-01-01T00:00:00Z Шарибаев, Н. Ю. Джураев, Ш. С. Турсунов, А. А. Муллабоева, Н. Ш. https://rep.bntu.by/handle/data/124660 2022-12-28T16:02:42Z 2022-01-01T00:00:00Z

Математическая модель процесса определения плотности поверхностных состояний Шарибаев, Н. Ю.; Джураев, Ш. С.; Турсунов, А. А.; Муллабоева, Н. Ш. Вероятности опустошения поверхностных состояний зависят от времени и от природы самого центра. Для определения плотности поверхностных состояний приводится сравнение функции вероятности опустошения энергетического уровня 𝜌 (t, E, T) со ступенчатой функцией Ферми-Дирака. Исследуется производная от функции 𝜌 (t, E, T) по энергии, и сравнивается дельта – функцией Дирака. Показано, что производная от вероятности опустошения энергетического уровня по энергии GN (E0, E, T) при низких температурах превращается в дельта – функцию Дирака. Использование этого факта дало возможность предложить математическую модель определения плотности поверхностных состояний на границе раздела полупроводник – диэлектрик в приборах с зарядовой связью ПЗС.

2022-01-01T00:00:00Z