В статье исследовалось формирование внутренних напряжений в вакуумно-плазменных электродуговых покрытиях TiN на подложках из алюминиевых сплавов. Определено влияние технологических параметров процесса нанесения покрытия на динамику изменения напряжений. Установлена зависимость напряженного состояния системы подложка-покрытие от режимов осаждения нитрида титана.