Особенности сенсорного отклика термокаталитических газовых сенсоров с различным типом нагревателя
Date
2011xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
53.087.92Bibliographic entry
Таратын, И. А. Особенности сенсорного отклика термокаталитических газовых сенсоров с различным типом нагревателя / И.А. Таратын, В.В. Хатько // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия В: Прикладные науки. Промышленность. - 2011. - № 3. - С. 53-57.
Abstract
Рассмотрены особенности сенсорного отклика термокаталитического газового сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния и установлены его отличия от сенсорного отклика сенсора, изготовленного по стандартной технологии с нагревателем из платиновой спирали