Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике
Bibliographic entry
Бондарев, В. А. Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике / В. А. Бондарев // Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. Энергетика : международный научно-технический и производственный журнал. – 2006. – № 2. – С. 68 - 73.
View/ Open
Collections
- №2[14]