Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике
Loading...
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Бондарев, В. А. Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике / В. А. Бондарев // Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. Энергетика : международный научно-технический и производственный журнал. – 2006. – № 2. – С. 68 - 73.