Разработка программного модуля для расчета скорости осаждения титановой плазмы в среде технологического газа

dc.contributor.author	Иващенко, С. А.	ru
dc.contributor.author	Иванов, И. А.	ru
dc.contributor.author	Султан, С. А.	ru
dc.contributor.author	Голушко, В. Г.	ru
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2014-04-21T06:33:01Z
dc.date.available	2014-04-21T06:33:01Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Разработка программного модуля для расчета скорости осаждения титановой плазмы в среде технологического газа / С. А. Иващенко [и др.] // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2006. – № 5. – С. 25-28.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/7092
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БНТУ	ru
dc.title	Разработка программного модуля для расчета скорости осаждения титановой плазмы в среде технологического газа	ru
dc.type	Article	ru