Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
| dc.contributor.author | Лапчук, Н. М. | ru |
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Олешкевич, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-03T09:35:33Z | |
| dc.date.available | 2020-01-03T09:35:33Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120 / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 196-198. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62147 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120 | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
