Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Прислопский, С. Я."
Now showing items 1-1 of 1
-
Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин
Прислопский, С. Я.; Смирнов, А. Г.; Станкевич, В. В.; Балыкин, И. В.; Рыжевич, А. А. (БНТУ, 2019)Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин / С. Я. Прислопский [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 463-465.2020-01-03