Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках

Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.; Горох, Г. Г.

Authors

Захлебаева, А. И.

Реутская, О. Г.

Горох, Г. Г.

Date

2016

Bibliographic entry

Захлебаева, А. И. Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках / А. И. Захлебаева, Г. Г. Горох, О. Г. Реутская // V Всероссийский конгресс молодых ученых : материалы конгресса, (Санкт-Петербург, 12-15 апреля 2016 г.) : в 2 т. – Санкт-Петербург, 2016. – Т. 2. – С. 252-257.

Abstract

Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем.