Влияние дозы и температуры имплантации на накопление водорода в дефектном слое монокристаллического кремния
| dc.contributor.author | Францкевич, Н. В. | |
| dc.contributor.author | Францкевич, А. В. | |
| dc.contributor.author | Шеденков, С. И. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-10-10T07:19:41Z | |
| dc.date.available | 2019-10-10T07:19:41Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Францкевич, Н. В. Влияние дозы и температуры имплантации на накопление водорода в дефектном слое монокристаллического кремния / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. – Минск : БНТУ, 2018. – Т. 3. – С. 429. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/57833 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние дозы и температуры имплантации на накопление водорода в дефектном слое монокристаллического кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
