Мультисенсорная микросистема повышенной эффективности контроля газовой среды на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия
Date
2018Another Title
Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.11.01 – Приборы и методы измерения
Bibliographic entry
Реутская О. Г. Мультисенсорная микросистема повышенной эффективности контроля газовой среды на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия : автореферат диссертации ... канд. техн. наук : 05.11.01 / Ольга Геннадьевна Реутская; Белорусский национальный технический университет. - Минск, 2018. - 21 с.
Abstract
На современном этапе развития техники одним из актуальных направлений приборостроения является разработка приборов и методов измерения концентрации газов и определения химического состава воздуха в окружающей среде, обеспечение безопасности на ранней стадии возгорания в жилищно-коммунальном хозяйстве и на производстве.
Настоящая диссертационная работа посвящена разработке мультисенсорных микросистем на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия, исследованию характеристик и методов измерения сенсорного отклика, обеспечивающих надежный и эффективный контроль состава газовой среды при микромощном энергопотреблении.