Способы управления структурным состоянием защитных вакуумно-дуговых покрытий

Abstract

Исследованы два способа формирования защитных наноструктурных вакуумных покрытий с использованием сепарированных плазменных потоков. Разработан сравнительно простой в технологическом исполнении способ управления размерами кристаллитов в направлении роста покрытия, основанный на осаждении индивидуальных тонких слоев тугоплавких соединений переходных металлов из сепарированных плазменных потоков и периодической бомбардировкой сформированных конденсатов потоком ионов. Проведенные рентгеноструктурные исследования показали, что применение данного способа позволило как снизить размер областей когерентного рассеяния до 10–15 нм, так и обеспечить повышение микротвердости и коррозионной стойкости сформированных покрытий. Методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированных плазменных потоков получены нанокристаллические покрытия Ti–Cr–N c размером кристаллитов 10–20 нм. Установлено, что целенаправленное легирование улучшает эксплуатационные свойства покрытий, что позволяет использовать их в качестве защитных слоев, осажденных на рабочие поверхности режущих инструментов.