Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Шадурская, Л. И."

Now showing items 1-2 of 2

    • Газоразрядная технология создания парогазовых смесей для легирования эпитаксиальных слоев кремния 

      Боярщонок, Е. В.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2017)
      Боярщонок, Е. В. Газоразрядная технология создания парогазовых смесей для легирования эпитаксиальных слоев кремния / Е. В. Боярщонок // Новые направления развития приборостроения : материалы 10-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 26−28 апреля 2017 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев ...
      2017-06-19

    • Стабилизация тлеющего разряда в генераторах парогазовой смеси для легирования эпитаксиальных слоев кремния 

      Боярщонок, Е. В.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2017)
      Боярщонок, Е. В. Стабилизация тлеющего разряда в генераторах парогазовой смеси для легирования эпитаксиальных слоев кремния / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 10-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 26−28 апреля 2017 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ...
      2017-06-19