Browsing 2019 by Author "Шадурская, Л. И."

Now showing items 1-2 of 2

    • Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии 

      Фолынсков, Д. И.; Тихоновец, Е. С.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2019)
      Фолынсков, Д. И. Дефекты эпитаксиальных структур кремния, связанные с условием проведения процесса газофазной эпитаксии / Д. И. Фолынсков, Е. С. Тихоновец, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; ...
      2019-08-26

    • Метод контроля дефектов в эпитаксиальных структурах кремния 

      Тихоновец, Е. С.; Фолынсков, Д. И.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2019)
      Тихоновец, Е. С. Метод контроля дефектов в эпитаксиальных структурах кремния / Е. С. Тихоновец, Д. И. Фолынсков, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и ...
      2019-08-21