Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | |
| dc.contributor.author | Шадурская, Л. И. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-25T07:18:05Z | |
| dc.date.available | 2019-04-25T07:18:05Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Гусев, О. К. Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния / О. К. Гусев, Л. И. Шадурская // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 2. - С. 162. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52160 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
