| dc.contributor.author | Зайков, В. А. | |
| dc.contributor.author | Ивлев, Г. Д. | |
| dc.contributor.author | Климович, И. М. | |
| dc.contributor.author | Людчик, О. Р. | |
| dc.contributor.author | Вишневский, А. И. | |
| dc.contributor.author | Гусакова, С. В. | |
| dc.contributor.author | Королик, О. В. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-18T12:21:53Z | |
| dc.date.available | 2019-04-18T12:21:53Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Структурные изменения в покрытиях Ti – Al – C – N при лазерном отжиге = Structural changes of Ti – Al – C – N coatings after laser annearling / В. А. Зайков [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/51954 | |
| dc.description.abstract | Методами растровой электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света исследованы структура, элементный состав тонких пленок Ti – Al – C – N до и после обработки интенсивным излучением рубинового лазера (λ = 0,69 мкм) при плотностях энергии 0,5–1,3 Дж/см2. Исследуемые тонкопленочные покрытия формировались на
кремниевых подложках методом реактивного магнетронного распыления составной мишени Ti – Al в аргон-азот-ацетиленовой среде. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Структурные изменения в покрытиях Ti – Al – C – N при лазерном отжиге | ru |
| dc.title.alternative | Structural changes of Ti – Al – C – N coatings after laser annearling | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The structure and the elemental composition of thin Ti – Al – C N films before and after treatment with intense ruby laser radiation (λ = 0.69 μm) at energy densities of 0.5–1.3 J/ cm2 were investigated by scanning electron microscopy and Raman scattering. Thin film Ti – Al – C – N coatings on silicon substrates were formed by reactive magnetron sputtering of a composite Ti – Al target in a mixture of argon-nitrogen-acetylene gases. | ru |
