Контроль параметров границы раздела кремний-двуокись кремния после быстрой термообработки методами исследования вольтфарадных характеристик и зондовой электрометрии
Authors
Date
2018Publisher
Bibliographic entry
Контроль параметров границы раздела кремний-двуокись кремния после быстрой термообработки методами исследования вольтфарадных характеристик и зондовой электрометрии / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 93-95.