Технологические варианты получения катодов-мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников
Bibliographic entry
Технологические варианты получения катодов-мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Вып. 39. – С. 107-111.