Технологические особенности формирования покрытий Ti–Cr–B–N методом магнетронного распыления на постоянном токе

Технологические особенности формирования покрытий Ti–Cr–B–N методом магнетронного распыления на постоянном токе = Technological features of Ti–Cr–B–N coatings formation by magnetron sputtering method in a direct current / С. Д. Латушкина [и др.] // Литье и металлургия. – 2019. – № 1. – С. 112-118.

Abstract

Приведены результаты исследования фазового состава и физико-механических свойств многокомпонентных покрытий Ti–Cr–B–N, сформированных методом магнетронного распыления на постоянном токе из композиционных мишеней. Изучены особенности фазообразования покрытий при распылении мишеней, содержащих в качестве боросодержащего компонента диборид титана (TiB2) или нитрид бора (BN). Установлены условия осаждения покрытий с микротвердостью до 32 ГПа и термостойкостью вплоть до 800 °C.

Abstract in another language

The results of the study of the phase composition and physical and mechanical properties of multicomponent coatings Ti– Cr–B–N formed by magnetron sputtering at a constant current from composite targets are presented. The features of phase formation of coatings when spraying targets containing titanium diboride (TiB2) or boron nitride (BN) as a boron-containing component are studied. The conditions of deposition of coatings with microhardness up to 32 GPA and heat resistance up to 800 °C are established.