Browsing Материалы 16-й конференции by Author "Шадурская, Л. И."
Now showing items 1-1 of 1
-
Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния
Гусев, О. К.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2018)Гусев, О. К. Технология изготовления электродов и контроль их качества при твердофазном легировании эпитаксиальных структур кремния / О. К. Гусев, Л. И. Шадурская // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 2. - С. 162.2019-04-25