Методика исследования точности измерения толщины тонкопленочных оптических покрытий в процессе их нанесения
| dc.contributor.author | Шахлевич, А. В. | |
| dc.contributor.author | Соколовский, С. С. | |
| dc.coverage.spatial | БНТУ | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-09-04T12:10:01Z | |
| dc.date.available | 2018-09-04T12:10:01Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Шахлевич, А. В. Методика исследования точности измерения толщины тонкопленочных оптических покрытий в процессе их нанесения / А. В. Шахлевич, С. С. Соколовский // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 307. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/47060 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методика исследования точности измерения толщины тонкопленочных оптических покрытий в процессе их нанесения | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
