Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников

Иванов, И. А.; Слуцкий, А. Г.; Шейнерт, В. А.; Ковалевич, Э. В.; Хлебцевич, В. Н.

Authors

Date

2018

Publisher

БНТУ

Another Title

Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources

Bibliographic entry

Иванов, И. А. Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников = Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources / И. А. Иванов // Литье и металлургия. - 2018. – № 2 (91). - С. 99-102.

Abstract

В различных отраслях промышленности широко применяются покрытия на основе силицидов разных металлов с использованием вакуумно-плазменной обработки изделий. Качество таких покрытий определяется степенью химической чистоты катода-мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также величиной ускоряющего потенциала, подаваемого на подложку. Традиционные способы получения многокомпонентных мишеней имеют ряд недостатков, таких, как высокая остаточная пористость, избыточное содержание примесей, а также необходимость использования дорогостоящего оборудования. Перспективным является использование литейных технологий в процессе производства катодов-мишеней. В работе представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований особенностей изготовления катодов-мишеней для вакуумных ионно-плазменных источников методами восстановительной и высокоскоростной индукционной плавки. В качестве материала использовали силициды титана, меди и никеля.

Abstract in another language

The coatings based on silicides of various metals are widely used in various industries by vacuum-plasma processes for products treatment. The quality of such coatings is determined by the degree of chemical purity of the target cathode, the correct choice of a mixture of process gases and the level of accelerating potential supplied to the substrate. Traditional methods for producing multi-component targets have a number of disadvantages, such as: high residual porosity, excess content of impurities, as well as the need for expensive equipment. The use of casting technologies in the production of target cathodes is promising. The paper presents the generalized results of experimental studies of manufacturing target cathodes for vacuum ion-plasma sources by methods of reduction and high-speed induction melting. Silicides of titanium, copper and nickel were used as the material.