Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Телеш, Е. В."
Now showing items 1-2 of 2
-
Влияние скорости нанесения на характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из ионных пучков
Телеш, Е. В.; Титова, В. М. (БНТУ, 2014)Проведено исследование влияния скорости нанесения Vн на структурно-фазовые, электро-физические и оптические характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из вторичного ионного пучка.2015-03-25 -
Формирование пленок оксинитрида кремния реактивным ионно-лучевым распылением кварца
Телеш, Е. В. (БНТУ, 2014)Телеш, Е. В. Формирование пленок оксинитрида кремния реактивным ионно-лучевым распылением кварца / Е. В. Телеш // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 392-394.2015-03-25