Browsing Приборостроение-2016 by Author "Гуревич, О. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния
Телеш, Е. В.; Гуревич, О. В. (БНТУ, 2016)Телеш, Е. В. Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния / Е. В. Телеш, О. В. Гуревич //Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 389-391.2017-04-04