Францкевич, Н. В. Формирование и исследование структуры Si\SixNy\Si / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 204-206.