Геттерирование эпитаксиальных структур редкоземельными элементами

Date
2017Publisher
Bibliographic entry
Геттерирование эпитаксиальных структур редкоземельными элементами / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 73-74.