Разработаны емкостные датчики температуры с чувствительным слоем на основе полиметилметакрилата. Методом атомно-силовой микроскопии изучены топография поверхности пленок, нанесенных методом спин-коатинга, показана зависимость электрической емкости и модуля упругости сформированных покрытий от температуры.