Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур

Abstract

Развитие микроэлектроники требует решения проблемы обеспечения единства линейных измерений в субмикронном диапазоне. Этого можно достичь, если проводить калибровку измерительных устройств по эталонным образцам – мерам малой длины. При калибровке измерительного оборудования с помощью эталонной меры важно исследовать составляющие точности метода и их влияние на результат измерений. Рассмотрены методические погрешности, характерные для методов оптической и атомно-силовой микроскопии. Приведены результаты калибровки оптического измерительного микроскопа. Показано, что для оптического измерительного микроскопа аддитивная погрешность зависит от параметров материала и формы измеряемых элементов. Методическая погрешность атомно-силовых микроскопов определяется формой острия зонда. Рассмотрены меры малой длины, используемые для калибровки оптических и атомно-силовых микроскопов. Сформулированы рекомендации пользователям измерительного оборудования.