Исследование и разработка пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- и нанопорошков нитрида алюминия и оксида цинка с микродобавками соединений редкоземельных элементов для получения многофункциональных сенсорных систем

Abstract

Объектом исследования являются технологические процессы получения сенсорных систем на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Целью данной работы является синтез пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- нанопорошков ZnO и AlN с микродобавками РЗЭ, получение многослойных сенсорных структур, проектирование и моделирование сенсорных систем на поверхностных акустических волнах. В процессе выполнения работы предложены методики получения смесей микро-нанопорошков оксида цинка и нитрида алюминия с микродобавками соединений редкоземельных элементов (оксидов и фторидов РЗЭ). Разработаны процессы формования распыляемых мишеней ZnO и AlN, легированных РЗЭ, путем статического и импульсного прессования порошковых смесей. Разработан технологический процесс формирования тонких пленок путем ионно-лучевого распыления мишеней ZnO и AlN с ионным ассистированием. Предложены основные конструктивные и схемотехнические решения и выполнено моделирование электронных компонентов сенсорной наносистемы на поверхностных акустических волнах.