Принципы фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии приповерхностных слоев полупроводниковых пластин
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Свистун, А. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-04-03T10:46:03Z | |
| dc.date.available | 2017-04-03T10:46:03Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Воробей, Р. И. Принципы фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии приповерхностных слоев полупроводниковых пластин / Р. И. Воробей, А. И. Свистун // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 14-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2016. - Т. 2. - С. 212. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/29253 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Принципы фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии приповерхностных слоев полупроводниковых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
