Оптические свойства лазерно-осаждаемых тонких пленок оксида цинка
Date
2016xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621.382.049.772Bibliographic entry
Оптические свойства лазерно-осаждаемых тонких пленок оксида цинка / А. Н. Чумаков [и др.] // Электроника инфо. - 2016. - № 2. - С. 32-37.
Abstract
Получены тонкие пленки оксида цинка на кремниевой подложке методом многоимпульсной лазерной абляции керамических мишеней стехиометрического состава