Browsing №1 ( 6 ) by Issue Date
Now showing items 21-21 of 21
-
Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем
(БНТУ, 2013)Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой ...2013-11-01