Изготовление модуля химических сенсоров на одном кристалле является одним из перспективных направлений в развитии газовой сенсорики. Целью данной работы являлась разработка мультисенсорной микросистемы для уменьшения времени измерения концентрации газов CO, H2, C3H8, CO2, а также снижение потребляемой мощности микросистемы в целом. Мультисенсорная микросистема включает четыре ...