Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Установлено влияние пористости подложки из анодного оксида алюминия на основные параметры 4-сенсорной газовой микросистемы. В расчетах использованы зависимости компонентов тензоров модуля упругости и теплопроводности от пористости для α-Al2O3, полученные методом конечных элементов. (E-mail: viacheslav.khatko@gmail.com)
item.page.description-other
Description
Citation
Белогуров, Е. А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е. А. Белогуров, Я. И. Шукевич, В. В. Баркалин, В. В. Хатько, И. А. Таратын // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Романюк Ф. А. ; Министерство образования Республики Беларусь ; Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2011. – №2(3). – С.59–65.