| dc.contributor.author | Шадурская, Л. И. | ru |
| dc.contributor.author | Яржембицкая, Н. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-08-21T06:34:42Z | |
| dc.date.available | 2015-08-21T06:34:42Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Шадурская, Л. И. Плазменное легирование приборных структур многозарядными примесями / Л. И. Шадурская, Н. В. Яржембицкая // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 2. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 189. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/18440 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Плазменное легирование приборных структур многозарядными примесями | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.relation.book | Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 2 | ru |
