Акустоэлектронные интеллектуальные сенсоры на поверхностных акустических волнах для анализа газообразной среды

Abstract

Объектом исследования являются высокочувствительные химические сенсоры на основе WO3 содержащие наноструктурированные чувствительные слои. Цель работы - разработка химических металлооксидных сенсоров для обнаружения малых концентраций токсичных и взрывоопасных веществ, находящихся в смесях газов и воздухе. Разработана концепция формирования наноразмерных чувствительных слоев, обеспечивающих повышение чувствительности и селективности химического сенсора. Разработаны и исследованы процессы осаждения наноразмерных полупроводниковых слоев на основе WO3, служащих в качестве активного элемента химического сенсора. Исследованы селективность и чувствительность химических сенсоров к содержанию оксидов азота, угарного газа и газообразных углеводородов в воздухе. Даны рекомендаций по выпуску химических сенсоров.