Оптимизация состава полиабразивной суспензии на основе ультрадисперсного диоксида кремния (SiO2–TiO2) для химико-механического полирования кремниевых пластин
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Целью настоящей работы являлось исследование агрегативной устойчивости, реологических и эксплуатационных свойств полиабразивных суспензий SiO2-TiO2 различного состава и разработка новой полирующей композиции для ХМП кремниевых пластин.
item.page.description-other
Description
Citation
Оптимизация состава полиабразивной суспензии на основе ультрадисперсного диоксида кремния (SiO2–TiO2) для химико-механического полирования кремниевых пластин / С. В. Якубовская [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 403-405.