Оптимизация состава полиабразивной суспензии на основе ультрадисперсного диоксида кремния (SiO2–TiO2) для химико-механического полирования кремниевых пластин

Якубовская, С. В.; Корбит, А. А.; Денисман, В. Г.; Сечко, Т. Н.

Authors

Date

2014

Publisher

БНТУ

Bibliographic entry

Оптимизация состава полиабразивной суспензии на основе ультрадисперсного диоксида кремния (SiO2–TiO2) для химико-механического полирования кремниевых пластин / С. В. Якубовская [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 403-405.

Abstract

Целью настоящей работы являлось исследование агрегативной устойчивости, реологических и эксплуатационных свойств полиабразивных суспензий SiO2-TiO2 различного состава и разработка новой полирующей композиции для ХМП кремниевых пластин.