Разработка двухсенсорной газовой микросистемы на подложках из пористого анодного оксида алюминия
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Целью работы является разработка конструкции и технологии изготовления, а также
исследование 2-х сенсорной газовой микросистемы на диэлектрической подложке из пористого анодного оксида алюминия.
item.page.description-other
Description
Citation
Реутская, О. Г. Разработка двухсенсорной газовой микросистемы на подложках из пористого анодного оксида алюминия / О. Г. Реутская, И. А. Таратын, В. В. Хатько // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 362-364.