Разработка двухсенсорной газовой микросистемы на подложках из пористого анодного оксида алюминия

Реутская, О. Г.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В.

Authors

Реутская, О. Г.

Таратын, И. А.

Хатько, В. В.

Date

2014

Publisher

БНТУ

Bibliographic entry

Реутская, О. Г. Разработка двухсенсорной газовой микросистемы на подложках из пористого анодного оксида алюминия / О. Г. Реутская, И. А. Таратын, В. В. Хатько // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 362-364.

Abstract

Целью работы является разработка конструкции и технологии изготовления, а также исследование 2-х сенсорной газовой микросистемы на диэлектрической подложке из пористого анодного оксида алюминия.