Импульсная фотонная обработка для формирования силицидов платины для СБИС
Bibliographic entry
Маркевич, М. И. Импульсная фотонная обработка для формирования силицидов платины для СБИС / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 352-354.
Abstract
В данной работе исследовалось изменение температуры от времени в системе Pt/Si при импульсной фотонной обработке излучением ксеноновых ламп, что необходимо для выбора режимов синтеза силицида платины.