Измерительная система контроля полупроводниковых пластин СКАН-2013
Authors
Date
2014Publisher
Bibliographic entry
Измерительная система контроля полупроводниковых пластин СКАН-2013 / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 54-56.