| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Горох, Г. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Лозовенко, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Кевра, Е. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-12-28T10:51:52Z | |
| dc.date.available | 2022-12-28T10:51:52Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния = Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater / И. А. Таратын [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 461-462. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/124670 | |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследований полупроводникого газового сенсора с нагревателем кремниевого из монокристаллического кремния. Приведены вольтамперные и температурные зависимости кремнивого нагревателя. Максимальное значение химического отклика на воздушную смесь с содержанием 0,49 об% CH4 получено при мощности нагревателя 108,12–111,47 мВт. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния | ru |
| dc.title.alternative | Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The results of studies of a semiconductor gas sensor with a silicon heater made of single-crystal silicon are presented. The current-voltage and temperature dependences of the silicon heater are given. The maximum value of the chemical response to 0.49 vol% CH4 was obtained at a heater power of 108.12–111.47 mW. | ru |
