Низкоэнергетический источник для ионного ассистирования
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Предложен способ получения тонкопленочных беспористых покрытий с плотной структурой и высокой абразивной стойкостью без применения нагрева подложек до 300 °С с использованием метода ионного ассистирования.
item.page.description-other
Description
Citation
Томаль, В. С. Низкоэнергетический источник для ионного ассистирования / В. С. Томаль, Н. К. Касинский, И. А. Иванов // Материалы. Технологии. Инструменты. - 2013. - Т. 18 № 1. - С. 67-69.