Низкоэнергетический источник для ионного ассистирования

Томаль, В. С.; Касинский, Н. К.; Иванов, И. А.; Иванов, И. А.

Authors

Томаль, В. С.

Касинский, Н. К.

Иванов, И. А.

Date

2013

Publisher

ИММС НАНБ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

621.793

Bibliographic entry

Томаль, В. С. Низкоэнергетический источник для ионного ассистирования / В. С. Томаль, Н. К. Касинский, И. А. Иванов // Материалы. Технологии. Инструменты. - 2013. - Т. 18 № 1. - С. 67-69.

Abstract

Предложен способ получения тонкопленочных беспористых покрытий с плотной структурой и высокой абразивной стойкостью без применения нагрева подложек до 300 °С с использованием метода ионного ассистирования.