Химические сенсоры на основе наноструктурированных материалов. Часть 1. Газовые сенсоры. (Обзор)

Abstract

Проведен анализ современных методов изготовления газовых сенсоров, в элементах конструкции которых используются наноструктурированные материалы. Выделены две группы методов, способствующих увеличению удельной поверхности чувствительного слоя сенсора: первая – использование в качестве основы для кристалла сенсора подложки или мембраны из нанопористого анодного оксида алюминия, вторая – формирование чувствительных слоев газового сенсора с большой удельной поверхностью на основе 1D–3D наноструктур. Повышение выходных характеристик сенсора определяется совокупностью улучшенных физико-химических свойств наноматериалов и наноструктур, используемых в его конструкции.