Show simple item record

dc.contributor.advisorКомаровская, В. М.ru
dc.contributor.authorЩаврук, А. А.ru
dc.contributor.authorМацкевич, Э. П.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2022-03-15T11:14:55Z
dc.date.available2022-03-15T11:14:55Z
dc.date.issued2021
dc.identifier.citationЩаврук, А. А. Коэффициент использования мишени при магнетронном распылении / А. А. Щаврук, Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25-26 ноября 2021 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 355-356.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/110380
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleКоэффициент использования мишени при магнетронном распыленииru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record