Методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий
Bibliographic entry
Методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий / А. П. Достанко [и др.] // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия В. Прикладные науки. Промышленность. - 2013. - № 11. - С. 2-5.
Abstract
Представлена методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий. Исследовано влияние нагрева оптических деталей на воспроизводимость оптической толщины многослойных узкополосных фильтров второго порядка на основе окислов циркония и кремния, получаемых на вакуумных установках моделей ВУ-800, ВУ-2М и ВУ-1А. Предложено для более точной количественной оценки воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий, кроме величины относительного стандартного отклонения, экспериментально определять величину доверительной вероятности.